日本人が発案したのになぜ敗れた？欧州企業が独占、半導体の核心技術 - 朝日新聞デジタル

EUV露光装置はオランダのASML社しか作れず、同社が市場を独占する。しかし露光装置はかつて日本が80%のシェアを握り、EUV露光技術はそもそも日本人が発明した関連キーワードはありません